錦州和力真空冶金工業(yè)有限公司
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真空熱壓燒結(jié)爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進行真空燒結(jié),氣體保護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。
確認加熱電源已停止。
爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時,應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施,如能保證水量,請繼續(xù)保持真空,如不能采取應(yīng)急措施,保持原狀,確認設(shè)備冷卻下來。
冷卻水發(fā)生異常時,設(shè)備處于停止狀態(tài),馬上接通緊急用冷卻水。
停電時,如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。
如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設(shè)備,繼續(xù)運轉(zhuǎn)如需要較長時間,則將設(shè)備保持原狀。
如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設(shè)備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來。
在高溫(超過200℃即視為高溫)時,如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
真空排氣時間比通常長時,應(yīng)把設(shè)備停下來進行檢查,根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響,也有導致壓力升高的情況。
通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認是漏氣還有放氣的影響。
在真空和保護性氣氛中,對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié),要獲得一定密度和具有一定機械性能的材料時,一般采用兩種工藝;即有壓燒結(jié)和無壓燒結(jié)。
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